英特尔爱尔兰Fab34工厂首台EUV光刻机开机并产生13.5nm波长的光

英特尔是摩尔定律的坚定支持者虽然每一代工艺的技术指标都很强大，但在进步上确实落后于TSMC和三星电子

目前，英特尔的第12代和第13代处理器仍在使用Intel 7技术，明年的流星湖将采用新一代Intel 4技术。

英特尔4将是英特尔首款基于EUV技术的FinFET工艺，性能功耗比可提升20%流星湖计划在今年第四季度流媒体播放这部电影，并在2023年发货

Intel 4之后是Intel 3，这是最后一代基于FinFET的技术，性能功耗比可以提升18%此前计划于2023年下半年投产

然后是英特尔20A技术届时，英特尔也将放弃FinFET技术，转向GAA路线20A将采用两项突破性技术——power via和RibbonFET前者是英特尔独创的电源技术，后者是基于GAA技术的新突破预计2024年问世

2025年及以后的技术仍在开发中，命名为Intel 18A，将继续完善RibbonFET技术同时，将使用ASML下一代高NA EUV光刻机，但量产时间不确定

英特尔现在宣布，其在欧洲的第一台大容量EUV光刻机已经在爱尔兰的Fab 34工厂启用，并成功生产出13.5纳米波长的光源。

今年早些时候，爱尔兰的Fab 34工厂引进了一台EUV光罩对准器，这是英特尔4技术的主要驱动力。

英特尔表示，该系统由荷兰的ASML制造，可以说是人类有史以来制造的最复杂的机器自EUV光刻机交付以来，当地团队一直在安装和调试，本周迎来了重要时刻英特尔正式启动EUV光刻机

这是Intel4技术量产的重要里程碑，也是欧洲首次使用大容量EUV光刻机。

据报道，这个EUV系统由超过10万个零件，3000根电缆，4万个螺栓和一英里多长的软管组成在它抵达Lexport后，当地团队一直在试图制造出第一束光线，但这个过程非常复杂，因为它取决于许多因素的错综复杂的技术无论是对光刻机本身的鉴定，还是整个设施系统以及与公用事业的衔接，都需要团队的共同努力即使在之前，建造者和设施的准备也只需要18个月

在这个过程中，100多名ASML员工与承包商，英特尔工程师和技术人员一起工作，进行构建和部署，预计英特尔4技术将在接下来的一段时间内准备好量产。

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